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全自動(dòng)點(diǎn)膠貼片機(jī)

多年來，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

關(guān)鍵詞：

分類：

服務(wù)熱線：

產(chǎn)品描述
詳細(xì)參數(shù)

此設(shè)備應(yīng)用于微組裝點(diǎn)膠貼片工藝。具有多線程、多時(shí)序、柔性工藝組合、復(fù)雜邏輯嚴(yán)密過程控制等特點(diǎn)。突破了微小芯片精確對(duì)位、多軸高精度閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、自動(dòng)測(cè)高與壓力精密控制等關(guān)鍵技術(shù)。實(shí)現(xiàn)了點(diǎn)膠、蘸膠、貼片、多種上料方式自由組合、貼片頭智能切換、流水線自動(dòng)傳輸?shù)裙δ?；具備高速、高精度、多品種、大批量生產(chǎn)能力。
蘸膠系統(tǒng)可選擇多種蘸膠頭更換；

頂針庫存放不同型號(hào)的頂針，適用于多種芯片及藍(lán)膜；

晶圓料倉，可編程選擇使用不同晶圓盤，設(shè)備自動(dòng)拾放；

對(duì)基板測(cè)高，動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)貼裝高度；

貼片頭庫，支持同時(shí)使用最多7種貼片吸頭；

通過視覺標(biāo)定系統(tǒng)，完成俯視相機(jī)、仰視相機(jī)、晶圓相機(jī)、吸頭的自動(dòng)校準(zhǔn)。

主要技術(shù)參數(shù)：

貼片精度：XY方向≤±10μm； θ角度偏差：≤±1°；

貼片效率：≤3s/個(gè)（含點(diǎn)膠時(shí)間）；上料晶圓尺寸：6英寸；

中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所成立于1962年，是我國以智能制造、微電子裝備及應(yīng)用、碳化硅裝備及應(yīng)用、新能源裝備及應(yīng)用等產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)的骨干單位。多年來，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

二所是科技部“國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（山西）”、科技部“國家科技合作基地”、工信部“智能制造試點(diǎn)示范”、國防科工局“軍用微組裝技術(shù)創(chuàng)新中心”、山西省“寬禁帶半導(dǎo)體制備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、山西省“微組裝工程技術(shù)研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng)新中心”等的主建和依托單位。近年來，獲得國家、省部級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)11項(xiàng)。

站在新的歷史起點(diǎn)，二所將以人工智能和半導(dǎo)體技術(shù)為核心，強(qiáng)化以軍為本、以民為主的創(chuàng)新鏈和以裝備為本、以應(yīng)用為主的產(chǎn)業(yè)鏈，實(shí)施智能制造、微電子、SiC和新能源產(chǎn)業(yè)躍升計(jì)劃，不斷提升核心競(jìng)爭力和盈利能力，形成良好可持續(xù)的高質(zhì)量發(fā)展態(tài)勢(shì)。

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